設備名稱

設備型號

工作方式

備 注

催化再生式氮氣凈化機

CZN-B

手動

工作塔一用一備

CZN-C

半自動

工作塔一用一備

CZN-Z

全自動

工作塔一用一備

原氣要求

純  度

99.9%

雜質要求

O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm

輸出純氣

純  度

≥99.9998%

雜質含量

O2≤0.5PPm；H2O≤2PPm(即露點≤－70℃)

塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升

工作壓力

0～1.0MPa

處理氣量

1～500Nm3/h   可根據用戶要求設計制造